二、pcb板用到的等离子技术处理
1)目的:低温等离子治疗是一种独特的设备,在真空环境中,在两个高压下做好
在电极两者之间引入四氯化碳(CF4)或氢(H2)、氮(N2)和氧(O2)。在两电极两者之间放置高频板,在空腔中形成等离子技术,除掉钻屑,活性孔,便于电镀铜。
1)运行参数
温度80℃
时长最短20530
射频功率(W)8500850085008500
真空托0.240.220.20.2
氧气流量SCCM200024002000/
CF4流量SCCM/260/250/
氮气流量SCCM500250/500
氢气流量SCCM//1500