二、pcb板用到的等离子技术处理

1）目的：低温等离子治疗是一种独特的设备，在真空环境中，在两个高压下做好

在电极两者之间引入四氯化碳（CF4）或氢（H2）、氮（N2）和氧（O2）。在两电极两者之间放置高频板，在空腔中形成等离子技术，除掉钻屑，活性孔，便于电镀铜。

1）运行参数

温度80℃

时长最短20530

射频功率（W）8500850085008500

真空托0.240.220.20.2

氧气流量SCCM200024002000/

CF4流量SCCM/260/250/

氮气流量SCCM500250/500

氢气流量SCCM//1500